Optical metrology roadmap for the semiconductor, optical and data storage industries II - 2-3 August 2001, San Diego, USA
- Författare
- (Angela Duparré, Bhanwar Singh, chairs/editors)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Cop. 2001 | USA | 294 sidor. | 0-8194-4163-5 |